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在芯片制造的工藝環(huán)節(jié)中，需要處理和轉(zhuǎn)移多種不同類型的高純度化學(xué)品，其中許多化學(xué)品是具有強(qiáng)腐蝕性的，例如硫酸(H2SO4)、鹽酸(HCl)、硝酸(HNO3)、磷酸(H3PO4）、氫氟酸(HF)和過氧化氫(H2O2)。
概括而言，這些化學(xué)品在芯片制造的主要工序中大致需要被傳輸兩次：首先，它們被泵入各種清洗、涂層、蝕刻、剝離、沉積和化學(xué)機(jī)械平坦化的工藝過程，將晶圓變成實際的芯片；其次，將使用后的化學(xué)品移除到廢水中和中和處理及處置過程。
應(yīng)用條件
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，對用于化學(xué)品和廢水運輸?shù)墓I(yè)泵的要求是特定的和嚴(yán)格的：
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能夠自吸并維持較高流量
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能夠處理不同粘度的液體
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某些特定工況中能夠處理最高達(dá)200°C的液體
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能夠泵送帶有磨料顆粒的液體
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能夠泵送具有腐蝕性、有毒的危險液體
考慮到這些關(guān)鍵因素，氣動雙隔膜（AODD）泵，已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造商在優(yōu)化化學(xué)品和廢水運輸活動方面的首選。源于德國的Almatec®提供了兩種氣動隔膜泵的產(chǎn)品線：E系列和FUTUR系列，可以滿足半導(dǎo)體制造商的需求。
FUTUR 系列
對于高純度化學(xué)品的轉(zhuǎn)移，Almatec® FUTUR 系列 AODD 泵經(jīng)過德國工程團(tuán)隊的精心設(shè)計，使液體可以直接流過中心殼體內(nèi)的產(chǎn)品腔室。這種設(shè)計確保只有殼體的一側(cè)與液體接觸，從而將流動彎頭數(shù)量減少到只有兩個，同時降低表面積，消除了在產(chǎn)品腔室內(nèi)使用滑動部件以及在浸潤區(qū)域使用O型圈的需要。FUTUR 泵還具有無緊固元件，如拉桿或卡箍，產(chǎn)品腔室之間無接觸級聯(lián)密封有助于提高泵的結(jié)構(gòu)完整性。所有這些設(shè)計改進(jìn)都有助于在泵操作過程中減少顆粒物的產(chǎn)生。
FUTUR系列提供四種型號，用于不同的半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用：
FUTUR T：
具有更強(qiáng)的抗腐蝕性能和高拉伸強(qiáng)度，適用于處理酸和堿液。
FUTUR H：
適用于高溫（最高200℃）下處理酸和堿液的應(yīng)用。
FUTUR E：
具有抗磨損性能，適用于處理半導(dǎo)體拋光液和化學(xué)機(jī)械研磨（CMP）。
FUTUR S/SH：
由實心316L不銹鋼制成，適用于溶劑混合物和去除劑的使用。
E系列
在半導(dǎo)體制造中的廢水處理方面，Almatec®提供了 E 系列氣動隔膜泵，E系列基于Almatec最初于1984年推出的A-Series模型，經(jīng)過40多年不斷迭代優(yōu)化，在行業(yè)內(nèi)一直被認(rèn)為是領(lǐng)先的塑料AODD泵。E系列設(shè)計中采用了創(chuàng)新的環(huán)形緊固結(jié)構(gòu)；通過優(yōu)化的流動模式增加了流量容量；降低了空氣消耗量和噪音水平；并且可選脈動阻尼器以提供更為穩(wěn)定的流體傳輸。
E系列泵的特點和優(yōu)點包括：
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創(chuàng)新采用PE/PE導(dǎo)電或PTFE/PTFE導(dǎo)電的堅固塑料塊結(jié)構(gòu)
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更具流體特性的多種膜片材質(zhì)選擇
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具備自吸和低剪切力的流體傳輸
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殼體螺栓緊固在與隔膜大小相同的環(huán)形上，將螺栓力分散開，并允許更高的螺栓扭矩
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沒有傳動、旋轉(zhuǎn)部件或軸封
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PERSWING P®氣控系統(tǒng)無需潤滑或額外維護(hù)
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通過CE，DIN EN ISO 9001:2008和DIN ISO 14001:2004認(rèn)證
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可選ATEX認(rèn)證泵型
在半導(dǎo)體制造中，Almatec® E系列和FUTUR系列氣動隔膜泵可發(fā)揮關(guān)鍵作用，確保高效且可靠的運行。
如需了解更多Almatec®產(chǎn)品信息，請撥打服務(wù)熱線 400 600 4026或發(fā)送郵件至PSG-China@psgdover.com。
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